牺牲层腐蚀技术赋能集成光波导：从原理、工艺到性能突破的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今信息时代，光通信、光传感等领域飞速发展，集成光波导作为关键技术之一，发挥着至关重要的作用。随着信息传输量的爆炸式增长以及对传感器灵敏度和精度要求的不断提高，开发高性能、小型化的集成光波导成为了科研和产业界共同追求的目标。

集成光波导是一种能够将光波限制在特定路径中传输的微纳结构，广泛应用于光通信、光传感、光计算等多个领域。在光通信领域，集成光波导是构建光收发模块、光开关、光滤波器等核心光电器件的基础，对于实现高速、大容量、长距离的光信号传输起着关键作用。随着5G、6G通信技术的发展，对光