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微系统设计与制造技术演讲人：日期:

CONTENTS目录01微系统概述02设计基础与流程03制造工艺技术04系统集成与封装05典型应用案例分析06发展趋势与挑战

01微系统概述

基本概念与分类微系统定义组成要素分类方式微系统是由微型传感器、执行器、信号处理和控制电路、以及电源等组成的微型电子系统。按照功能可分为微传感器、微执行器、微处理器等；按照加工技术可分为硅基微系统、非硅基微系统、混合微系统等。微系统通常由微传感器、微执行器、信号处理电路和接口电路等模块组成。

技术特点与优势微系统具有体积小、重量轻、功耗低、集成度高、可靠性高等特点。技术特点微系统可以实现大批量、低成本生产，并且易于实现