ICS31.260
CCSL50
ZOIA
中关村光电产业协会团体标准
T/XXXXXXX—XXXX
硅微谐振压力传感器性能试验方法
Testmethodsoftheperformancesfor
siliconmicroresonantpressuretransducer/sensor
（征求意见稿）
在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中关村光电产业协会??发布
T/XXXXXXX—XXXX
硅微谐振压力传感器性能试验方法
1范围
本标准规定了硅微谐振压力传感器性能的试验条件、试验的一般规定、试验项目及试验方法、数据
计算及处理。
本标准适用于硅微谐振压力传感器（包括绝压传感器、差压传感器和表压传感器，以下简称传感器）。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T7665-2005传感器通用术语
GB/T18459-2001传感器主要静态性能指标计算方法
GB/T15478-2015压力传感器性能试验方法
GJB150.2A-2009军用装备实验室环境试验方法第2部分：低气压（高度）试验
GJB150.3A-2009军用装备实验室环境试验方法第3部分：高温试验
GJB150.4A-2009军用装备实验室环境试验方法第4部分：低温试验
GJB150.5A-2009军用装备实验室环境试验方法第5部分：温度冲击试验
GJB150.9A-2009军用装备实验室环境试验方法第9部分：湿热试验
GJB150.10A-2009军用装备实验室环境试验方法第10部分：霉菌试验
GJB150.11A-2009军用装备实验室环境试验方法第11部分：盐雾试验
GJB150.12A-2009军用装备实验室环境试验方法第12部分：砂尘试验
GJB150.15A-2009军用装备实验室环境试验方法第15部分：加速度试验
GJB150.16A-2009军用装备实验室环境试验方法第16部分：振动试验
GJB150.17A-2009军用装备实验室环境试验方法第17部分：噪声试验
GJB150.18A-2009军用装备实验室环境试验方法第18部分：冲击试验
GJB150.24A-2009军用装备实验室环境试验方法第24部分：温度-湿度-振动-高度试验
GJB151B-2013军用装备和分析图电磁发射和敏感度要求与测量
GJB360B-2009电子及电气元件试验方法
JJG875-2019数字压力计检定规程
JJG860-2015压力传感器（静态）检定规程
JB/T13359-2018硅谐振式压力传感器
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1微谐振压力传感器siliconmicroresonantpressuretransducer/sensor
基于硅材料的微加工技术制作而成，利用谐振原理，将被测压力转化成谐振频率的传感器。
3.2固有频率intrinsicfrequency
无压力作用（绝压）或正负压腔疏通大气（表压、差压）时传感器的输出频率值。
3.3谐振频率resonantfrequency
传感器在压力作用下的输出频率值。
3.4灵敏度sensitivity
传感器承受