面向大规模半导体生产的结构化精确维护系统：设计、开发与实践

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的浪潮中，半导体产业作为信息技术产业的核心，已成为推动全球经济增长和科技进步的关键力量。从日常使用的智能手机、电脑，到工业自动化设备、人工智能、物联网等前沿领域，半导体芯片都扮演着不可或缺的角色，堪称各类电子设备的“大脑”。近年来，半导体产业呈现出蓬勃发展的态势，市场规模持续扩张。据世界半导体贸易统计组织（WSTS）数据显示，即便全球经济面临诸多挑战，2023年全球半导体产业销售额仍达到5,201.26亿美元。5G、人工智能、物联网、汽车电子等新兴应用领域的迅猛崛起，更是为