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文件名称:MEMS磁传感器接口电路的创新设计与实践研究.docx
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总页数:43 页
更新时间:2025-06-11
总字数:约3.91万字
文档摘要

MEMS磁传感器接口电路的创新设计与实践研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在科技飞速发展的当下,传感器作为获取信息的关键部件,在众多领域中扮演着不可或缺的角色。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)磁传感器,作为微机电系统与磁性感应技术深度融合的产物,正以其独特优势,在各个领域中得到广泛应用并发挥着重要作用。

MEMS磁传感器的发展历程,是一部不断突破与创新的历史。早期的传统磁传感器,如霍尔元件,虽在工业领域有所应用,但其体积偏大、功耗较高等短板,严重制约了其进一步发展与更广泛应用。直至20世纪90年代,MEMS技术取得重大突破并走向成熟