内蒙古自治区地方计量技术规范
JJF(蒙)113—2025
探针型导电类型及电阻率测试仪测试规范
MeasurementSpecificationforProbe-typeConductivityTypeandResistivityTester
2025-05-01发布2025-08-01实施
内蒙古自治区市场监督管理局发布
JJF(蒙)113-2025
探针型导电类型及电阻率
测试仪测试规范
MeasurementSpecificationforProbe-type
ConductivityTypeandResistivityTester
JJF(蒙)113—2025
归口单位：内蒙古自治区市场监督管理局
主要起草单位：包头市检验检测中心
参加起草单位：内蒙古自治区计量测试研究院
本规范由包头市检验检测中心负责解释
JJF(蒙)113-2025
本规范主要起草人：
郝继君(包头市检验检测中心)
康艳艳(包头市检验检测中心)
丁志军(包头市检验检测中心)
参加起草人：
于爱萍(包头市检验检测中心)
庞文嘉(包头市检验检测中心)
潘炳全(内蒙古自治区计量测试研究院)张素清(包头市检验检测中心)
I
JJF(蒙)113-2025
目录
引言 (Ⅱ)
1范围 (1)
2引用文件 (1)
3术语和计量单位 (1)
4概述 (2)
5计量特性 (2)
5.1电气测试部分 (2)
5.2探针部分 (2)
5.3绝缘电阻和绝缘强度 (2)
6测试条件 (3)
6.1环境条件 (3)
6.2测量标准及其他设备 (3)
7测试项目和测试方法 (3)
7.1测试项目 (3)
7.2测试方法 (3)
8测试结果的表达 (10)
9复测时间间隔 (11)
附录A探针型导电类型及电阻率测试仪记录参考格式 (12)
附录B探针型导电类型及电阻率测试仪测试证书内页参考格式 (14)
附录C探针型电阻率测试仪电阻值测试结果不确定度评定示例 (16)
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II
引言
JJF1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF1011《通用计量术语定义》、JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制订工作的基础性系列规范。
本规范为首次发布。
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探针型导电类型及电阻率测试仪测试规范
1范围
本规范适用于探针型导电类型测试仪和二探针、四探针电阻率测试仪的性能测试，其他探针电阻率测试仪的测试也可参照本规范。
2引用文件
本规范引用了下列文件：
GB/T14264半导体材料术语
GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法
GB/T1551硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流两探针法
JJG508四探针电阻率测试仪检定规程
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。
3术语和计量单位
3.1术语
3.1.1导电类型conductivitytype
半导体材料中多数载流子的性质所决定的导电特性，分为n型和p型。
[来源：GB/T14264-2024,3.72]
3.1.2p型半导体p-typesemiconductor
多数载流子为空穴的半导体。
[来源：GB/T14264-2024,3.49]
3.1.3n型半导体n-typesemiconductor
多数载流子为电子的半导体。
[来源：GB/T14264-2024,3.50]
3.1.4电阻率resistivity
荷电载体通过材料受阻程度的一种量度。
[来源：GB/T14264-2024,3.74]
3.1.5参考片referencewafer
一种经认证的标准材料、工作标准材料或硅片或芯片形式的标准材料，用于测量设备的日常测试或控制。
[来源：GB/T14264-2024,3.23.1]
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2
3.2计量单位
电阻率的单位是Ω.cm。
4概述
探针型导电类型测试仪按探针数量一般分为二探针、三探针等，主要用于判别半导体材料类型。由探针、电气测试部分、