微热板气体传感器阵列控温芯片的设计、实现与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代工业的飞速发展，生态环境面临着严峻的挑战，化石燃料燃烧以及工业排放等产生的大量有毒有害气体，对人类的健康构成了极大的威胁。据相关数据显示，全球每年因空气污染导致的死亡人数高达数百万。在这样的背景下，对有害气体的监测与控制成为了众多学者关注的重要研究课题。气体传感器作为检测气体成分和浓度的关键设备，在环境监测、工业安全、医疗诊断、智能家居等众多领域发挥着不可或缺的作用。

半导体式气体传感器凭借其良好的灵敏度、较低的成本以及与IC工艺的兼容性，成为了科研工作者的研究热点，并朝着微型化、低功耗化、集