模块四零件表面粗糙度检测201XX工业产品几何量检测

知识点：干涉法测量表面粗糙度一干涉显微镜仪器简介任务九零件表面粗糙度检测二测量方法

干涉显微镜仪器简介1.干涉显微镜仪器简介干涉显微镜通过测不平度高度，用公式计算Rz，主要测Rz，Ry，，表面太粗糙则不能形成干涉条纹,所以Rz=（0.05～0.8）μm.干涉显微镜是利用光波干涉原理，将具有微观不平的被测表面与标准光学镜面相比较，用光波波长为基准来测量工件表面粗糙度。

干涉显微镜仪器简介干涉显微镜主要测Rz：Rz=0.05-0.8μm.干涉显微镜外形图

干涉显微镜仪器简介2.干涉显微镜仪器光学系统干涉显微镜的光学系统见图所示。干涉显微镜的光学系统图

干涉显微镜仪器简介从光源1发出的光束，经过分光镜9分为两束光。一束透过分光镜9、补偿板10，射向被测工件表面，由工件反射后经原路返回至分光镜9，射向观察目镜20。另一束光通过分光镜9反射到标准参考镜13，由13反射并透过分光镜9，也射向观察目镜20。这两束光线间存在光程差，相遇时，产生光波干涉，形成明暗相间的干涉条纹。

干涉显微镜仪器简介若工件表面为理想平面，则干涉条纹为等距离平行直纹；若工件表面存在着微观不平度，通过目镜将看到如图所示的弯曲干涉条纹。测出干涉条纹的弯曲度△hi和间隔宽度bi(由光波干涉原理可知，b对应于半波长λ/2)。通过下式可计算出波峰至波谷的实际高度Yi。

干涉显微镜仪器简介式中λ——光波波长自然光（白光）λ=0.66μm绿光（单色光）λ=0.509μm红光（单色光）λ=0.644μm波峰至波谷的实际高度Yi

感谢聆听