表面加工悬臂梁在动态冲击环境下的可靠性研究：理论、模拟与实验验证

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS）作为一门新兴的交叉学科，正逐渐在众多领域展现出巨大的应用潜力。MEMS器件是一种集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型器件或系统，其特征尺寸通常在微米到毫米之间。这种微小的尺寸赋予了MEMS器件诸多优势，如体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、可靠性高以及易于集成等，使其在消费电子、汽车工业、航空航天、生物医学、环境监测等领域得到了广泛应用。例如，在智能手机中，MEMS加速度计和陀螺仪被用于实现运动感应和屏幕