浅谈半导体封装测试设备位置精度调整第1页，共33页，星期日，2025年，2月5日位置精度的定义空间点位获取坐标值与其真实坐标值的符合程度。第2页，共33页，星期日，2025年，2月5日设备位置精度调整的重要性设备位置精度调整是机械设备安装与日常维护工程中重要的一环，是衡量设备Performance好坏的重要指标；它几乎包括了设备安装位置调整，设备机械部件安装位置调整，机械手位置精度调整，设备传动位置精度，Sensor位置精度调整等；第3页，共33页，星期日，2025年，2月5日位置精度检测与调整位置精度检测与调整：位置精度检测是检测设备、零部件之间的相对位置误差，如垂直度、平行度、同轴度误差等。调整是根据设备的技术要求(由规范或设备随机技术文件规定)和精度检测的结果，调整设备自身和相互的位置状态，例如设备的安装水平、垂直度、平行度和倾斜等;调整两轴或多轴机械手物料搬运传输的位置精度，链传动机构的水平度，以及定位装置等活动机理；第4页，共33页，星期日，2025年，2月5日机械行业常见位置精度检验标准日本JISB6336-1980《数控机床试验方法通则》1、定位精度定位精度是在一个方向，由基准位置起顺次定位，各位置上实际移动距离（或回转角度）与规定移动距离（或回转角度）之差。误差以各位置中的最大差值表示，在移动的全长上进行测量。回转运动在全部回转范围内，每30°或在12个位置上进行测量。取同方向一次测量，求实际移动距离与规定之差。2、重复度在任意一点向相同方向重复定位7次，测量停止位置。误差以读数最大差值的1/2加（±）表示。原则上在行程两端和中间位置上测量。3、向偏差分别某一位置正向、负向各定位7次。误差以正、负两停止位置的平均值之差表示。在行程两端及中间位置上测量。4、最小设定单位进给偏差在同一方向连续给出单个最小设定单位的指令，共移动约20个以上单位。误差以各相邻停止位置的距离（或角度）对最小设定单位之差表示；第5页，共33页，星期日，2025年，2月5日浅谈设备位置精度的内容整机设备安装位置精度；机械手位置精度；设备传动位置偏差分析；设备位置精度偏差调整的一般方法第6页，共33页，星期日，2025年，2月5日小结什么是位置精度？常见位置精度检验标准有哪些？第7页，共33页，星期日，2025年，2月5日整机设备安装位置精度设备整机安装位置精度指在设备安装中为保证整套装置正确联动所需的各独立设备之间的位置间隙，包含水平位/垂直位置精度，平行度，倾斜度等；第8页，共33页，星期日，2025年，2月5日散装设备的装配:包括各运动部件之间的相对运动，配合表面之间的配合度，这些装配工艺将直接影响设备的位置偏差。选择适当、合理的装配和调整方法，正确判定部件安装偏差及其方向能有效提高设备安装的位置精度。第9页，共33页，星期日，2025年，2月5日设备安装位置精度的检测调整项目水平位置精度检测调整。垂直位置精度检测调整。组件间隙检查调整。第10页，共33页，星期日，2025年，2月5日水平仪：用于测量相对于水平位置的倾斜角、设备导轨的平面度和直线度、设备安装的水平位置和垂直位置等。较水平尺测量的精密度而言，水平仪更稳定可靠。常见的红外水平仪，激光水平仪等，如下图所示设备安装常用位置检测仪器第11页，共33页，星期日，2025年，2月5日水平尺：采用水平尺用于检测或测量水平和垂直度，种类和规格繁多，长度从10CM到250CM多个规格；水平尺材料的平直度和水准泡质量，决定了水平尺的精确性和稳定性。水平尺能用于不同长短距离测量，能弥补现有水平仪只能在开阔地测量，而在狭窄地方测量困难的缺点，且测量准确，造价低，携带方便，经济适用。第12页，共33页，星期日，2025年，2月5日塞尺：塞尺又称测微片或厚薄规，是用于检验机械部件安装间隙的测量器具之一，横截面为直角三角形,在斜边上有刻度,利用锐角正弦直接将短边的长度表示在斜边上,这样就可以直接读出缝的大小了。第13页，共33页，星期日，2025年，2月5日影响设备机台位置变化的因素外部因素：整机设备在安装完成以后，其水平和垂直等位置，很容易受外部自然因素的影响，如地震，人为撞击等；对于自动化程度较高的装有连锁装置的封装测试设备主要表现为异常掉气，地脚歪斜，机台不平整，设备不能复位等现象；内部因素：设备在高速和长时间的生产运作中，整机链接螺栓，地脚，垫铁等锁紧和固定部件会有