基本信息

---

下载

文档摘要

---

一般氣體配管工作程序

供输半导体级一般气体之配管工作程序

适用范围

本程序乃适用于半导体生产工厂中所安装的供输一般气体用之配管工作。

气体管路的种类

2 2 2 2 2 2GN，PN，PH，O，PO，HE，Ar，PHe，Par，CDA，

2 2 2 2 2 2

工作范围

在这里所定义的管线涵盖为由各种不同气体的起始流出点至连接各生产机器设备的气体管线为止。

分段点

主管路〔Main〕为由气体的超始流出点〔Gasyard〕至无尘干净室中的第一组分支阀

〔MainLine〕为止。

次管路〔Submain〕乃指由无尘干净室中之第一组分支阀至其次组分支阀〔SubmainLine