基本信息

---

下载

文档摘要

---

word

word

1/9

化学机械抛光液〔CMP〕氧化铝抛光液

一、行业的界定与分类2

〔一〕化学机械抛光2

1、化学机械抛光概念2

2、CMP工艺的根本原理2

3、CMP技术所承受的设备与消耗品2

4、CMP过程2

5、CMP技术的优势2

〔二〕化学机械抛光液3

1、化学机械抛光液概念3

2、化学机械抛光液的组成3

3、化学机械抛光液的分类3

4、CMP过程中对抛光液性能的要求3

〔三〕化学机械抛光液的应用领域3二、原材料供给商3

三、化学机械抛光液行业现状4

〔一〕抛光液行业现状4

1、国际市场主要抛光液企业分析4

2、我国抛光液行业运