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化合物半导体衬底材料争论报告

在整个半导体产业链中，半导体材料处于上游，中游为各类半导体元件，下游应用包括消费电子、通信、能源、电力、交通等行业。随着近年其次、三代化合物半导体借助其独特的物理特性实现更广泛的应用，其上游衬底材料砷化镓、碳化硅、氮化镓愈发得到国内重视，本篇争论报告将就这三类衬底材料进展重点介绍。

一、化合物半导体材料概述

化合物半导体是指两种或两种以上元素形成的半导体材料，依据元素数量可以分为二元化合物、三元化合物、四元化合物等，二元化合物半导体依据组成元素在化学元素周期表中的位置还可分为 III-V族、IV-IV族、II-VI族等。目前，以砷化镓〔GaAs〕、氮化镓