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第

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2025版洁净室及相关受控环境静电控制技术要求

目次

前言

引言

1范围

2规范性引用文件

3术语和定义

4静电来源和危害

5技术要求

附录A(资料性)静电来源与控制要素?

附录B(资料性)技术措施

附录C(资料性)?防静电地面类型

附录D(资料性)EPA分级或分类附

录E(资料性)?防静电设备和工具性能参考文献

引言

静电是洁净室及相关受控环境中常见污染源之一。静电吸引可造成污染物集聚,污染洁净环境,影响产品质量和人员健康;静电放电会对洁净环境中静电敏感设备、产品造成危害,并且