基本信息
文件名称：2025版洁净室及相关受控环境静电控制技术要求.pdf
文件大小：623.08 KB
总页数：23 页
更新时间：2025-06-15
总字数：约1.13万字
文档摘要
2025版洁净室及相关受控环境静电控制技术要求
目次
前言
引言
1范围
2规范性引用文件
3术语和定义
4静电来源和危害
5技术要求
附录A(资料性)静电来源与控制要素
附录B(资料性)技术措施
附录C(资料性)防静电地面类型
附录D(资料性)EPA分级或分类附
录E(资料性)防静电设备和工具性能参考文献
引言
静电是洁净室及相关受控环境中常见污染源之一。静电吸引可造
成污染物集聚,污染洁净环境,影响产品质量和人员健康;静电放电
会对洁净环境中静电敏感设备、产品造成危害,并且给电气安全、消
防安全