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分步重复光刻机项目安全评估报告

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分步重复光刻机项目安全评估报告

目录

TOC\o1-9概论 4

一、环境评价 4

(一)、环境评价概述 4

(二)、评价分步重复光刻机项目概况 4

(三)、环评单位的基本情况 6

(四)、评价范围及目的 7

(五)、评价依据 9

(六)、国家环保法律法规 9

(七)、地方环保规定 9

(八)、相关标准和技术规范 9

(九)、评价程序与方法 10

(十)、环境评价程序 10

(十一)、评价方法与技术路线 12

二、定性、定量安全评价 13

(一)、安全管理单元 13

(二)、厂址条件、平面布置