基本信息

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文档摘要

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MEMS应力测试技术的多维度探索与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技快速发展的进程中，微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术作为多学科交叉融合的产物，正深刻改变着人们的生活与生产方式。MEMS技术通过将微电子技术与微机械加工技术相结合，能够在微小尺度下制造出集微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路、电源以及通信接口等多功能于一体的微型器件或系统。其诞生和发展可追溯至20世纪50年代，当时硅的压阻效应被发现，开启了硅传感器研究的序幕。随后，历经几十年的发展，MEMS技术在汽车、消费电子、医疗、工业、通信等