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XXX
团体标准
T/CASA018—202X
微纳米金属烧结连接件剪切强度试验方法
Testmethodforshearstrengthofmicroandnanometal
sinteredjoints
（征求意见稿）
202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施
第三代半导体产业技术创新战略联盟发布
T/CASA018—202X
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本文件由北京第三代半导体产业技术创新战略联盟标准化委员会（CASAS）制定发布，版权归
CASAS所有，未经CASAS许可不得随意复制；其他机构采用本文件的技术内容制定标准需经CASAS
允许；任何单位或个人引用本文件的内容需指明本文件的标准号。
本文件起草单位：
本文件主要起草人：
III
T/CASA018—202X
引言
金属互连材料在半导体封装工业中占据关键地位。传统封装采用焊料合金互连，但其析出的金属间
化合物导致互连层服役温度较低且脆性较高。作为最适合于第三代半导体模块封装的界面连接技术之
一，以微纳米银、微纳米铜为代表的新型微纳米金属烧结互连技术具有组分单一、低工艺温度、高服役
温度的优点，而且芯片连接件的可靠性也可以得到大幅提升。
剪切强度作为微纳米金属烧结件主要的性能指标之一，其测试方法广受关注。因微纳米金属烧结技
术尚属技术推广阶段，业内尚未针对使用该技术制备的烧结件制定专门的的剪切强度测试方法标准。传
统焊料剪切强度较低，其测试方法标准和强度判定规则不再适用。同时，因行业内各单位的测试仪器型
号不同，样品规格、测试条件、操作步骤等条件也各有不同，这使得产业内从业人员无法在统一的条件
下比较微纳米金属烧结件的剪切强度性能。希望借此标准的制定，有效规范行业内测试方法，使得各测
试参数可有效比对，助力微纳金属烧结技术的产业化发展。
V
T/CASA018—202X
微纳米金属烧结连接件剪切强度试验方法
1范围
本文件规定了微纳米金属烧结连接件剪切强度的测试方法。
本文件适用于微纳米金属烧结连接件剪切强度的测定和失效模式判定（如果出现失效），用于微纳
米金属材料的测试评价。
2规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3术语和定义
T/CASA017中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
剪切shear
构件的横截面沿外力方向发生的错动变形。
3.2
剪切强度shearstrength
烧结连接件试样剪切断裂前所承受的最大切应力。
[来源：GB∕T34558-2017，3.6.1.6]
3.3
烧结（连接）