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深耕半导体专用温控废气处理设备，国内市场份额稳步提升/

?半导体专用温控设备打破国外垄断，销量提升带动业绩快速增长。公司

作为国内实现进口替代的半导体专用设备供应商，主营产品包括半导体专用

温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（LocalScrubber）和晶圆

传片设备（Sorter），其中温控设备收入占比超60%。受益于半导体产业市场

需求的持续增长以及产品竞争优势，公司产品销售数量持续增长，整体收入

业绩稳步增长，2022-2024年公司收入/归母净利润CAGR为24.36%/29.54%。

?半导体专用温控设备市