MEMS技术赋能下的SOI微压传感器性能提升与应用拓展研究

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1研究背景

在现代科技快速发展的时代，微机电系统（MEMS）技术作为一项关键的前沿技术，正深刻地改变着众多领域的发展格局。MEMS技术是指利用微纳米加工技术，将微型机械结构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等集成在一块芯片上的技术，实现了系统的微型化、集成化与智能化。自20世纪60年代起源以来，MEMS技术经历了从基础研究到产业化应用的快速发展过程。目前，MEMS技术已经广泛应用于消费电子、汽车、医疗、工业控制、航空航天等多个领域，成为推动这些领域技术进步和产品创