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文档摘要

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平面绝对位移编码传感方法：原理、应用与创新发展

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，位移测量技术作为一项基础且关键的技术，广泛应用于工业生产、科学研究、航空航天等众多领域，对推动各领域的技术进步和发展起着不可或缺的作用。在工业生产中，无论是精密机械加工、自动化生产线的运行，还是机器人的精确操控，都依赖于高精度的位移测量来确保产品的质量和生产效率。例如，在汽车制造行业，零部件的加工和装配过程需要对机械臂的位移进行精确控制，以保证零部件的尺寸精度和装配精度，从而提高汽车的整体性能和安全性。在半导体制造领域，芯片制造工艺对光刻机等设备的位移精度要求极高，纳米级别的位移测量精