蓝宝石衬底片初检工序测试题及答案
1.蓝宝石衬底的晶体结构是什么？
A.面心立方
B.六方晶系
C.体心立方
D.简单立方
答案：B
2.蓝宝石衬底的硬度级别是多少？
A.6级
B.7级
C.8级
D.9级
答案：D
3.蓝宝石衬底对光的吸收系数小的特性有利于提高器件的哪种效率？
A.电导率
B.光提取效率
C.机械强度
D.热导率
答案：B
4.下列哪种材料不适合作为蓝宝石衬底研磨的磨粒？
A.金刚石
B.氧化铝
C.碳化硅
D.氧化硅
答案：B
5.在蓝宝石衬底研磨过程中，研磨压力增大时，以下哪个参数会增大？
A.材料去除率
B.表面粗糙度
C.弯曲度
D.翘曲度（在压力增大导致贴合更充分的情况下此选项可能降低，但本题强调增
大）
答案：A和B（但本题为单选，更严谨的答案需根据题目具体要求，若考虑直接效
果则选A）
6.蓝宝石衬底的清洗步骤中，不包括以下哪项？
A.丙酮超声清洗
B.盐酸浸泡
C.异丙醇超声清洗
D.超纯水冲洗
答案：B
7.蓝宝石衬底加工中，若Δbow数值较大，说明什么问题？
A.衬底应力分布均匀
B.衬底面型对称
C.衬底应力分布不均匀
D.衬底半径小于1寸
答案：C
8.在ICP刻蚀蓝宝石衬底过程中，若金属Ni掩膜被完全刻蚀，可能的原因是？
A.Ni掩膜过厚
B.刻蚀时间过长
C.光刻胶侧壁不陡直导致掩膜太薄
D.刻蚀温度过高
答案：C
9.蓝宝石衬底的透光度范围是多少？
A.0.1μm\~5.5μm
B.0.5μm\~10μm
C.1μm\~20μm
D.5μm\~25μm
答案：A
10.哪种设备常用于观测蓝宝石衬底表面形貌？
A.光学显微镜
B.扫描电子显微镜（SEM）
C.红外光谱仪
D.X射线衍射仪
答案：B
11.蓝宝石衬底的第二表面进行喷砂处理时，喷砂区域通常是什么形状？
A.圆形
B.方形
C.蝴蝶结形
D.三角形
答案：C
12.蓝宝石衬底加工中，若要求获得较小的表面粗糙度，研磨盘转速应如何调整？
A.降低
B.保持不变
C.适当提高
D.尽可能提高
答案：C（但需注意题目中的“适当”，直接选D可能过于绝对）
13.在三温区管式炉生长MoS2材料实验中，蓝宝石衬底通常放置在哪个温区？
A.第一温区
B.第二温区
C.第三温区
D.任意温区
答案：C
14.蓝宝石衬底切割后清洗的主要目的是什么？
A.去除表面金属杂质
B.增加衬底硬度
C.保证衬底平整度和清洁度
D.改变衬底颜色
答案：C
15.蓝宝石衬底研磨后，以下哪个参数通常会减小？
A.材料去除率
B.表面粗糙度（在研磨有效的情况下）
C.衬底厚度（若未进行减薄处理则此选项不准确）
D.弯曲度（在压力适当导致应力均衡的情况下可能减小，但非必然结果）
答案：B（考虑直接研磨效果）
16.选用蓝宝石作为LED衬底材料的主要原因不包括？
A.晶体结构匹配
B.化学稳定性差
C.散热性质好
D.光学性能好
答案：B
17.蓝宝石衬底的第一取向和第二取向的交点通常用作什么的中心？
A.刻蚀区域中心
B.喷砂区域中心
C.金属沉积中心
D.光学测试中心
答案：B
18.在研磨过程中，研磨盘转速对材料去除率的影响是？
A.无影响
B.负相关
C.正相关
D.不确定
答案：C
19.蓝宝石衬底加工前，为何需要避免衬底之间相互摩擦和碰撞？
A.防止衬底变形
B.防止衬底导电
C.保护衬底表面不被划伤
D.增加衬底透明度
答案：C
20.蓝宝石衬底的哪种特性有利于提高器件的发光效率？
A.高硬度
B.高热导率
C.对光的吸收系数小
D.化学稳定性好
答案：C
21.研磨过程中，研磨压力对衬底表面粗糙度的影响是？
A.压力越大，表面粗糙度越小
B.压力越小，表面粗糙度越小
C.压力与表面粗糙度无关
D.压力在一定范围内增大时，表面粗糙度增大
答案：D
22.蓝宝石衬底研磨后，弯曲度和翘曲度通常会如何变化？（在压力适当导致应力
均衡的情况下）
A.均增大
B.均减小
C.弯曲度增大，翘曲度减小
D.弯曲度减小，翘曲度增大
答案：B
23.在