基本信息

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文档摘要

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基于多技术融合的纯水制备系统设计与实现研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，纯水作为一种至关重要的基础物质，在众多领域中发挥着不可或缺的作用。从电子半导体制造到生物医药研发，从化工生产到实验室分析检测，纯水的应用范围极为广泛，其质量的优劣直接影响到产品的质量、生产效率以及实验结果的准确性。

在电子半导体领域，随着芯片制程技术的不断进步，对纯水的纯度要求达到了极高的水平。例如，在超大规模集成电路制造过程中，微小的杂质颗粒都可能导致芯片短路或其他性能故障，因此需要使用电阻率高达18.2MΩ?cm以上的超纯水，以确保芯片制造的高精度和高可靠性。在芯片制造过程中，光刻环