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文档摘要

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化学气相沉积技术的应用与进展

一、化学气相沉积技术的进呈现状

精细化工是当今化学工业中最具活力的兴领域之一，是材料的重要组成局部，现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机材料，这些功能材料必需是高纯的，或者是在高纯度材料中有意地掺人某种杂质形成的掺杂材料。但是，我们过去所生疏的很多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求，也难以保证得到高纯度的产品。因此，无机材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。

化学气相沉积技术(Chemicalvapordeposition，简称CVD)是近几十年进展起来的制备无机材料的技术。化学气相沉积法已经广泛用于提纯物质、研制晶体、沉