附件2:
《半导体用全氮酥橡胶密封件》
团体标准编制说明（征求意见稿）
、工作简况
1.1工作任务来滔
全氪配橡胶是目前所有弹性密封材料中综合性能最好的一种特种氪橡胶，其分子链中的
C-H全部袚C-F取代，因而在最为苛刻的耐高温、耐化学介质密封领域备受青眯，广泛应用于
半导体生产设备的密封。为提升企业的市场竞争力，促进国产全氪配橡胶密封件在市场上的推
广和应用，需制定相关的全氪配橡胶密封件技术标准，对产品性能进行管理，满足市场质量提
升需要。
根据2025年全国标准化工作要点，大力推动实施标准化战略，持续深化标准化工作改革，
加强标准体系建设，提升引领高质董发展的能力。依据《中华人民共和国标准化法》及《团体
标准管理规定》相关规定，2024年10月18日，C半导体用全氪配橡胶密封件》团体标准正式
立项。
1.2主要工作过程
1.2.1主要参加单位
本标准主要起草单位：四川弘芯氪配科技有限公司、成都晨光博达新材料股份有限公司、
中石油（上海）新材料研究院有限公司、航天材料及工艺研究所、福建海德福新材料有限公司、
深圳市新唐娶业精密技术有限公司、东莞泰克密封技术有限公司、四川道弘新材料股份有限公
司、华兴中科标准技术（北京）有限公司等。起草单位主要参与草案的修改，测试方法验证等
标准工作。
1.2.2工作分工
1.2.2.1起草阶段
在理论研究基础上，起草组在标准编制过程中充分借鉴已有的理论研究和实践成果，经过
修改完善，形成了C半导体用全氪配橡胶密封件》标准草案稿。
1.2.2.2第—次工作会议
2025年5月20日，召开C半导体用全氪配橡胶密封件》团体标准的线上启动会议。四川
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弘芯氪配科技有限公司技术部部长赵荣朋宜讲了C半导体用全氪配橡胶密封件》的标准草案，
多家参编单位共同讨论。会议结束后形成C半导体用全氪配橡胶密封件》标准征求意见稿。
1.2.2.3征求意见阶段
2025年6月，团体标准通过全国团体标准信息平台面向全社会进行公开征求意见，同时
标准编制小组进行定向征求意见。
1.2.3工作进度安排
2024年10月一12月，项目市场调研。
2025年2月，开启立项论证会议，项目申报立项。
2025年5月，编写团体标准项目草案，召开标准启动会。
2025年6月，公开征求意见。
2025年7月，召开编制组内部讨论会议。
2025年8月，召开标准审定会。
2025年10月，报批，发布。
二、标准编制原则
标准起草小组在编制标准过程中，遵循“前瞻性、实用性、统一性、规范性”的原则，以
现有的国家、行业标准为制定基础，结合我国目前全氪配橡胶密封件的现状，按照GB/T1.1
-202忒标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定及相关要求编制。
三、标准主要内容的确定
1、范围
本文件规定了半导体用全氪配橡胶密封件的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、
标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体用全氪配橡胶密封件的设计、生产与贮存。
2、规范性引用文件
GB/T528硫化橡胶或热塑性橡胶拉伸应力应变性能的测定
GB/T531.1硫化橡胶或热塑性橡胶压入硬度试验方法第1部分：邵氏硬度计法（邵
尔硬度）
GB/T1682硫化橡胶低温脆性的测定单试样法
GB/T1690硫化橡胶或热塑性橡胶耐液体试验方法
GB/T2941橡胶物理试验方法试样制备和调节通用程序
2
GB/T3452.1液压气动用0形橡胶密封圈第1部分：尺寸系列及公差
GB/T3512硫化橡胶或热塑性橡胶热空气加速老化和耐热试验
GB/T3672.1橡胶制品的公差第1部分：尺寸公差
GB/T5721一1993橡胶密封制品标志、包装、运输、贮存的一般规定
GB/T7759.1硫化橡胶或热塑性橡胶压缩永久变形的测