工业和信息化教育
IndustryandInformationTechnologyEducation年月刊
基于VR虚拟现实技术的“集成电路”课程
教学改革路径
梁亨茂，罗?霞，谢家兴，代秋芳，张?宇，刘洪山
（华南农业大学电子工程学院（人工智能学院），广东?广州?510642）
【摘要】针对“集成电路”课程教学中实践现场资源匮乏、理论课程较枯燥、教学科研资源获取渠道有限等问题，
运用VR虚拟现实技术开展“集成电路”课程教学改革探索极具潜力及现实意义。文章分析了“集成电路”
课程教学的现存挑战，提出了囊括课程思政、理实交融、教研相长3个方面的基于VR技术的“集成电路”课
程教改实践路径，旨在为高校集成电路技术人才高质量培育创设新的增长点并积累经验。
【关键词】集成电路教学；教学改革；虚拟现实技术；人才培养
中图分类号G642【文献标识码】A【文章编号】20955065202406007404
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0引言
收稿日期：2022-9-30
作者简介：梁亨茂（1992—），男，湖北天门人，博士，讲
师，研究方向为微电子技术、MEMS传感技术；近年来集成电路技术作为我国在国际贸易
罗霞（1973—），女，内蒙古包头人，博士，高级实验师，
竞争中的关键技术[1]，已成为我国科教领域急切
研究方向为微电子技术；
谢家兴（1979—），男，福建连城人，博士，讲师，研究方需要得到突破的重点。2020年8月集成电路产业
向为无线传感器网络、农业物联网；发展从“战略性新兴产业”上升至“新型举国体
代秋芳（1979—），女，湖南汉寿人，博士，讲师，研究方制”的战略高度；2020年12月国务院学位委员
向为新型喷雾技术与装备；会、教育部联合发文明确了“集成电路科学与工
张宇（1976—），女，河南洛阳人，博士，讲师，研究方向
程”一级学科；2021年集成电路技术已成为我国
为机器视觉、光声成像；
刘洪山（1968—），男，广东兴宁人，博士，副教授，研究“十四五”规划的科技前沿攻关部分。
方向为微电子技术。集成电路技术是各高校微电子专业的重点学
基金项目：2018年教育部产学合作协同育人项目（项目编习方向，然而集成电路制造采用微纳精密加工技
号：201802070020）；2021年华南农业大学教育教学改革与术，不仅需要亚微米以下洁净度的风淋系统和超
研究（重点）项目（项目编号：JG21033）；2021年华南农
净间，还需要光刻机、键合机、高温氧化及退火
业大学质量工程建设项目（项目编号：zlgc21035）；2021
年华南农业大学虚拟仿真实验教学项目（项目编号：华南农系统、物理/化学气相沉积系统、干/湿法刻蚀系统
教〔2021〕56号）；2020年华南农业大学教育教学改革与研等高精尖半导体制造设备，其所涉及的工艺单元
究项目（项目编号：JG20081）；2020年华南农业大学质量及流程组合极其复杂[2]。集成电路制造产业链庞
工程建设项目（项目编号：zlgc20017）。杂（材料、设备、供销链）、资金超密集（亿元
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