ICSXX.XXX.XX
XXX
团体标准
T/COEMAXXXXX-2020
光学元件表面疵病定量检测方法
QuantitativeInspectionMethodforSurfaceImperfectionsofOpticalElements
202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施
中关村材料试验技术联盟发布
T/COEMAXXXXX—2020
I
T/COEMAXXXXX-2020
1范围
本标准规定了光学元件表面疵病定量检测的一般要求、检测原理与方法。
本标准适用于平面类双面抛光和镀膜的光学元件表面疵病的检测。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T1185-2006光学零件表面疵病
ISO10110-7Opticsandphotonics—Preparationofdrawingsforopticalelementsandsystems—Part7:
Surfaceimperfectiontolerances
MIL-PRF-13830BOpticalcomponentsforfirecontrolinstruments;Generalspecificationgoverningthe
manufacture,assembly,andinspectionof
3术语和定义
GB/T1185-2006、ISO10110-7、MIL-PRF-13830B确立的术语与定义适用于本标准。
3.1表面疵病surfaceimperfections
表面疵病是指光学元件表面的划痕、麻点、破边和斑点等瑕疵。
3.2划痕scratch
划痕是指光学元件表面呈现的微细的长条形凹痕。
3.3麻点pitpitting
麻点是指光学元件表面呈现的微小的点状凹坑。
3.4破边edgechips
破边是指光学元件有效孔径外的边缘破损。
3.5斑点stain
斑点是指光学元件表面经侵蚀或镀膜后形成的在反射光中呈干涉色突变的局部腐蚀或覆盖。
4一般要求
4.1环境要求
环境要求如下：
a)环境温度：20℃±5℃；
b)相对湿度：小于70%；
c)洁净度：环境洁净，设备所在测试区域环境洁净度达到千级；
d)满足待测光学元件检测的其他环境要求。
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T/COEMAXXXXX-2020
4.2设备要求
设备要求如下：
a)设备内部样品测试区域环境洁净度：百级；
b)横向分辨率：优于1μm；
c)设备检测相对重复性：优于5%；
d)照明光源功率稳定性优于3%；
e)设备移动定位系统的定位精度优于3μm。
4.3光学元件要求
待检光学元件要求如下：
a)待检光学元件表面洁净，无水渍和污迹；
b)待检光学元件厚度：不小于10mm；
c)待检光学元件为平板类双面抛光元件和镀膜元件，表面粗糙度Rq≤1.5nm；
d)待检光学元件对照明光源不产生衍射现象。
5详细要求
5.1检测原理
光学元件表面疵病采用激光散射原理检测，如图1所示，