二次配气动工程施工界面
二次配工艺冷却水、制程真空（PCW/PV）：
二次配机台设备制程冷却水(PCW)二次配管（从主系统Take-off点到机台）的设计、制作，运输，安装，测试等（如参考图6）。
二次配机台设备制程真空(PV)二次配管（从主系统Take-off点到机台）的设计、制作，运输，安装，测试等（如参考图7）。
图6PCW系统图7PV系统
J023二次配工程应根据机台的UM表和接头衔接图对整个PCW/PV系统的使用和连接配线进行设计和规划，J023二次配工程必须按照业主负责工程师的要求进行安装（根据机台UM表及现场会堪需加装放气阀，压力表）。中标厂商安装完所有二次配PCW/PV管路，必须保证所有机台与管路的衔接质量以及日后运行阶段的质量。
化学品工程（Chemical）：
自主系统预留takeoff点阀门（不含）连接至机台需求点之工作（如参考图包含管道，配件，标示，开关挂牌等安装,ChemicalJ023二次配工程应根据机台的UM表和接头衔接图对整个洁净室chemical系统的使用和连接配线进行深化设计和规划，J023二次配工程必须按照业主负责工程师的要求以及满足深化设计要求和行业标准要求进行安装。J023二次配工程安装所有chemical二次配管路时，必须保证所有机台的chemical质量以及日后运行阶段的质量。J023二次配工程的工作范围是从的主系统take-off点接到洁净室机台接点之间。
工程范围如下：
机台设备酸性腐蚀化学品系统二次配管（从主系统Take-off点）的深化设计、制作和安装测试等；
机台设备溶解化学品系统二次配管（从主系统Take-off点）的深化设计、制作和安装测试等；
图10Chemical系统
二次配气体系统（Gas）：
二次配气体管路工程的工作范围是从洁净室的主系统take-off点接到洁净室机台接点之间（如参考图12）。J023二次配工程应根据机台的UM表（机台对厂务气体二次配的具体要求，包括所需气体种类，数量，流量，压力，接头形式和尺寸）和接头衔接图对整个洁净室气体管路系统的使用和连接配线进行深化设计和规划，J023二次配工程必须按照业主负责工程师的要求以及满足深化设计要求和行业标准要求进行安装。J023二次配工程安装所有气体二次配管路时，必须保证所有机台的气体质量以及日后运行阶段的质量。
大宗气体工作范围:
主管路（Main）为由气体的起始流出点（take-offpoint）至无尘洁净室中的第一组分支阀为止。
支管（Branch）由无尘洁净室中之分支阀至机台点(pointofuse)。
所有机台设备大宗气体(Bulkgas)和特殊气体(specialtygas)系统配管的深化设计、制作和安装。
图12Gas系统
二次配气体管路系统的种类包括:
压缩空气;(CDA)
大宗气体(Bulkgases):普通氮气(GN2)、制程氮气(PN2)、液氮（LINN2）
惰性气体：在大气情况下与其他物质不会发生化学反应（如CF4、CHF3、
C4F8、C2F6、C3F8、SF6等）；
有毒气体：容许浓度在百万分之二百以下的气体，LC50超過200ppm但不超过2000ppm会造成致命的化学物质，称为有毒气体（如NF3、10%CH4/Ar、CO、NO等）；
腐蚀性气体：与接触的位置起化学反应的气体，能改变和破坏细胞组织的气体(如BCL3、CLF3、NH3、HBr等)；
可燃气体：在温度54℃(130oF)或低于此温度与空气接触将自动点燃的气体称为可燃气体（如SiH4、5%B2H6/N2、CH4等）；
Pumpingline系统：
工程范围：
包含生产设备Pumpingline管道安装及所需一切材料、机器设备、工具及人工等。Pumpingline管道包括从机台到PUMP、从PUMP到Scrubber、Scrubber到排气系统等。