基本信息

---

下载

文档摘要

---

超精密空气弹簧

背景：高性能隔振是精密加工、检测领域的关键支撑技术和共性技术，广泛应用半导体行业、科学精密检测、超精密加工、航空航天等领域，是表征国家先进制造与精密测量水平的标志性技术之一。目前在市场上只有德国Bilz、美国TMC、日本Tokkyokiki等少数国外生产厂商能够生产满足精密加工、检测设备使用的高性能隔振系统，并将其作为战略性技术对其他国家进行技术封锁。我国在商用高性能隔振领域研究尚属空白，高性能隔振系统主要依赖进口，严重制约着我国高端制造和测量装备的发展，为国家的战略安全埋下了隐患。

技术瓶颈：空气弹簧具有固有频率低且稳定、疲劳强度高、电磁兼容性好等优点，是高性能隔振系统必不可少的关键零部件。然而，空气弹簧由于具有严重的非线性、滞后性，且受多场耦合的影响，响应速度慢，控制精度低，严重制约着隔振性能的提升，已经成为开发高性能隔振技术的瓶颈问题。

研究目标：针对高性能隔振系统高精度、快响应的隔振需求，围绕空气弹簧主动隔振的基础理论与关键技术开展研究，解决空气弹簧结构设计、压力跟踪与脉动抑制等关键科学问题，提升空气弹簧的响应速度和控制精度，满足超精密加工、制造和测量装备对高性能隔振系统的严苛需求。

研究意义：研发具有自主知识产权的高性能隔振系统关键零部件是实现我国高端制造装备自主安全可控、提升我国前沿尖端科学实验研究水平的必要条件，具有重大的战略意义与广阔的实用价值。