基本信息

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文档摘要

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电子束和热阻蒸发薄膜沉积系统技术参数

（一）项目背景

电子束蒸发镀膜机是真空蒸镀薄膜工艺的关键设备，具有各向异性沉积高熔点金属薄膜或者氧化物薄膜的功能，可以实现微纳电子器件电极的制备。其最大特点是易于精确控制厚度，沉积过程具有一定的各向异性，有利于降低光刻图形剥离工艺的难度。

该设备可在半手动模式下使用，也可升级到全自动模式，一键自动化操作，可以减少系统停机时间。可广泛应于半导体器件开发、高级材料研究和光学镀膜表征和设计等。

（二）货物清单

序号

货物名称

数量

单位

1

电子束和热阻蒸发薄膜沉积系统

1

套

（三）技术服务要求

1.1镀膜工艺腔体

方箱型304不锈钢腔体，内部名义尺寸不大于4