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文档摘要

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二次配给排水系统工程施工界面

超纯水系统（UPW）：

自主系统UPWLoop管道takeoff点以及部分主管预留隔膜阀连接至机台需求点的工作。包括管线、配件、标示、挂牌、支架等的安装。机台本身无回路的，需要在接近供水点之前安装回路，设置阀盘。UPWJ023二次配工程根据机台的UM表从UPW主系统的take-off点到洁净室机台POU对整个洁净室机台UPW系统的使用和连接配管进行深化设计规划及安装。J023二次配工程安装完所有二次配UPW管路，必须保证所有机台与管路的衔接质量以及日后运行阶段的质量。

工程范围如下：

UPW二次配管的深化设计、制作、安装及测试。

UPW二次配管的保压测试及清洗。

本工程所有之安装、试验、测试至本工程内各系统设备完全正常运转为止。

图UPW工作界面示意图

排水系统（PDS）:

PDS二次配管工程的工作范围是从洁净室的排水主系统Takeoff接点到洁净室机台接点之间，自机台排水点连接至主系统PDS管道takeoff点堵头或阀门的工作。包括管线、配件、标示、挂牌、支架等的安装。J023二次配工程应根据机台的UM表和接头衔接图对整个洁净室排水系统的使用和连接进行深化设计和规划，J023二次配工程必须按照业主负责工程师的要求以及满足深化设计要求和行业标准要求进行安装。J023二次配工程安装所有排水二次配管路时，必须保证所有机台的排水质量以及日后运行阶段的质量。工程范围包括机台及洁净室内的各种排水、排液系统二次配管的深化设计、制作、安装及测试。

图2PDS系统

加压给水系统系统（CW）:

机台设备及辅助设施所用的加压给水系统管道及(CW)二次配管（从主系统Take-off点到机台）的深化设计、制作，运输，安装，测试等；

图3CW系统