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文件名称:二次配工程施工界面.docx
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总页数:12 页
更新时间:2025-06-23
总字数:约6.99千字
文档摘要

二次配工程施工界面

J023二次配工程包括且不限定于本项目中从一次配管线系统预留Take-off点至生产设备及业主可能增加的设备接口之间的连接管线及相关附件、设备运行维护所需的动力支持系统(三合一地板、插座、亚克力隔断等)、设备基础、PUMP-LINE等部分机台主机和辅机之间的连接管线。J023二次配工程应根据机台的UM表数据、设备图纸、现场会勘成果、业主需求等资料对整个洁净室机台所需的各种动力支持和检测系统的使用和连接配线进行深化设计和规划。除明确由业主提供的器材外,J023二次配工程应按规定提供全部材料、设备及完成本工程安装、制作、测试工作所需的人工、机具等,其范围包括:

机台需求的各动力系统的深化设计(PID图、ISO图、BIM图等)、制作、安装及测试。

设备运行维护所需的动力支持系统,包括且不限定于三合一地板、插座、亚克力隔断等的深化设计、制作、安装及测试。

设备基础、安装支架的深化设计、制作、安装及测试。

Pumpingline等部分机台主机和辅机之间的连接管线的深化设计、制作、安装及测试。

J023二次配工程应按合同规定供给全部材料、设备及完成本工程安装、制作、测试、安全、管理工作所需之人工、机具(含各类焊机、自动套丝机、风管翻边机、圆盘锯、人字梯、脚手架、铝制跳板等),完成本工程所有的采购、运输、拆卸、吊运、储存、安装、试验、竣工图、测试至本工程内各系统设备完全正常运转为止。提供完成配管和保证质量所必需的服务,使之与全世界的半导体工业的标准水平相等或更好。提供所有深化设计、主要材料和配件及细目分类的文件。

J023二次配工程应自备工地内、外的一切临时设施,如临时水电、交通、仓库、办公室、工务所等,并负责维护临时设施现场安全。于业主需用或工程竣工后,应无条件拆除。J023二次配工程应自备施工中需用的一切动力源(含水、电、气等)、消耗品、服装(含Class100净化服)、劳防用品、清洁用品。

J023二次配工程负责设备性能测试与调整中所需的调试用料,J023二次配工程负责系统试运行与调整中所需的试运行用料。

本招标文件中所涉内容,除已明确定义由招标方提供外,其余均视为J023二次配工程的工作,由中标单位提供材料、深化设计、安装、测试、验收、资料、管理、质保。

招标图纸供承包商参考规划,具体配管需根据机台实际情况以及用量进行深化设计后再行实施。

二次配与主系统的分界面为各主系统takeoff点,与设备机台之间的分界面为设备接口。机台内部管路连接、机台与附属机台之间管路连接、附属机台与附属机台之间管路连接、配置spare管路、增加主系统takeoff点亦属二次配工程范围之内。例如:J023二次配工程不得因设备机台端接头特殊或机台端接头位于机台内部而拒绝施工、影响hookup进度。如果机台端接头为特殊接头,J023二次配工程必须使用合格的配套接头完成衔接。

部分二次配工作内容及界面举例说明

序号

二次配工作界面

1

主系统takeoff点至工艺设备(含附属设备、Scrubber)

2

工艺设备主机与附属设备之间管道(如pumping-line、PCW等)、桥架(含开孔、恢复及封堵)

3

工艺设备自带变压器、UPS时,从变压器、UPS到工艺机台的动力电缆、桥架

4

当工艺设备Gasbox与主机之间因安装原因需要单独配管

5

安全防护设施供货及安装

6

Scrubber与Tool、特气监控系统之间的通讯,由J023二次配工程负责提供材料、施工,并在SCASDA增加Scrubber监控画面,接收报警信息等(Scrubber厂商及J006特气包配合调试)

工程系统范围

二次配工程包含如下系统:

Bulkgas大宗气体系统:CDA/GN2/PV/PN2/HV/BA

Exhaust排气系统:EX-GEX(一般排气),EX-AEX(碱排),EX-SEX(酸排),EX-VOC(有机),EX-AsEX(砷排)

Water:UPW、CW、DIW(软化水)

PCW系统

Pumpingline系统

SG特气系统(含高纯气)

Chemical系统

PDS废水废液收集系统

电力系统及防静电接地

阀门、阀盘、仪表、调压阀、流量计等附件

高架地板、墙面、楼板、隔断、天花板、PVC板、PVC地砖的开孔及封堵和保护。

提供阀表区域上方视窗高架地板,检修维护使用的三合一地板。

根据业主需要对机台维护区使用亚克力板进行隔断,其开孔、封堵等需满足洁净室要求。

根据业主需要对机台检修区使用的排气系统接口预留点位。

以上系统所需的辅料

包含但不限于以上系统二次配的设计、材料采购、空间管理、组织安装、测试、调试、标识、turnon及完工后的运行。

工艺排气系统

工作范围及界面说明

工艺排气系统二次配工作范围包含