工艺冷却水（FAB）、工艺真空（FAB）、清扫真空系统（FAB）施工界面

工艺冷却水系统所包含的水泵、水泵减震基座、板式换热器、过滤器、加药装置（含竣工日期前及竣工日期后6个月内的药剂）、定压补水装置、取样系统、管道、管件、阀门、仪表、保温等设备及材料的采购、安装、测试及调试属于J004洁净室工程。J004FAB负责系统范围内的酸洗预膜工作，包含验收移交日之前常用药以及水处理维护服务。

工艺真空系统各组成设备的购置和安装调试，其中包括采购真空泵，缓冲罐等设备。工艺真空系统管道、管件、阀门、自控仪表、就地仪表、系统群控设备、设备配电、线缆、桥架软件购置和安装，包括整个系统的调试。

清扫真空系统