净化车间的洁净度一般是指洁净室内空气中大于、等于某一粒径的浮游粒子浓度(单位空气体积内的粒子颗粒数)。现行使用较多的净化车间空气洁净度级别标准是美联邦标准,此标准1999版本已改版为2015版本,也是2021年的最新版本,对部分数据做了调整,提高了要求。我国现行国标GB50073-2013中,对洁净室状态作出了定义,不同状态下洁净室空气的洁净度不同,需规定等级对应的状态才能有准确的验收标准。以下为你详细介绍不同等级的净化车间标准:
洁净度等级
适用行业
主要参数标准
检测状态与方法
100级
适用于对空气洁净度要求极高的产品生产,如集成电路、高精度光学器件等
每立方单位空气中直径大于0.5μm的尘埃粒子和微生物数量不得超过100个;光散射粒子计数器采样量每次采样量大于或等于1升
洁净室的空气洁净度应进行空态、静态和动态测试。空态测试是在洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行;静态测试是设施已建成,生产设备已安装并按商定状态运行,但无生产人员;动态测试则是洁净室处于正常生产状态。测试方法包括对总送风量、总回风量等多项指标的检测,对于粒径大于或等于0.5μm的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法,也可采用滤膜显微镜计数法
1000级
适用于对空气洁净度要求较高的产品生产,如医疗器械、药品生产等
未提及更多明确主要参数标准,但洁净度要求低于100级高于其他下级
同上
万级
通常适用于一些对洁净度有一定要求的电子、医药等行业
[换气次数20-30次/小时(不同资料会因具体情况有细微差异);温度冬季16±2℃,夏季26±2℃;相对湿度45-65%(RH);噪声≤65dB(A);新风补充量为总送风量的20%-30%;照度≥300Lux[
同上
十万级
适用于电子仪器仪表、计算机房、半导体厂、印刷厂、汽车工业、航天工业、光刻、微机制造等行业,除了空气洁净度以外,还要确保达到除静电的要求
换气次数10-15次/小时;温度冬季16±2℃,夏季26±2℃;相对湿度45-65%(RH);噪声≤65dB(A);新风补充量为总送风量的20%-30%;照度≥300Lux;送风口风速:孔板孔口3-5m/s,侧送风口贴附射流2-5m/s,非贴附射流同侧墙下部回风1.5-2.5m/s,对侧墙下部回风1.0-1.5m/s;回风口风速:洁净室回风口不大于2m/s,走廊内回风口不大于4m/s?
同上
三十万级
适用于一些对洁净度要求相对较低的生产环境,如部分食品、化妆品等行业
每立方米大于或等于0.5μm的尘粒不得超过10,500,000个;每立方米大于或等于5μm的尘粒不能超过60,000个;每立方米浮游菌数量不能超过1000个;压差方面,不同洁净级别洁净室(区)之间,静压差大于或等于5PA;洁净室(区)与室外,静压差大于或等于10PA;温度18-28℃;湿度45-65%
同上