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文档摘要

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基于共焦检测原理的弹性探针测量方法研究

一、引言

在当代精密制造与测量的领域中，高精度的非接触式测量技术成为了研究的重要方向。共焦检测技术以其高灵敏度、高稳定性和非接触式测量的特点，被广泛应用于各种精密测量场合。本文将着重探讨基于共焦检测原理的弹性探针测量方法的研究，通过对其原理、方法及实验结果的分析，以期为相关领域的研究与应用提供参考。

二、共焦检测原理概述

共焦检测技术是一种光学测量技术，其基本原理是通过调整光学系统的焦距，使被测物体与参考面处于同一焦点上，从而实现对物体高度的精确测量。共焦检测技术具有高灵敏度、高分辨率和高稳定性的特点，能够在微米甚至纳米级别的范围内进行精确测量。

三、弹