基本信息

---

下载

文档摘要

---

黑斑改善大全（顾加晨）

黑斑

单晶PERC电池片EL黑斑一直是业内难题，EL黑斑不良基本在各家电池片不良

的前三位，严重影响电池片的良率、效率、EL，黑斑的种类和受影响工序较多，

主要分为两种，一种是块状黑斑，一种是麻点黑斑。

块状黑斑主要为感应器摩擦导致、背钝化吸盘摩擦污染导致、抬片皮带摩擦污染

导致、手指印暗斑等。麻点黑斑主要为制程粉尘颗粒影响、带液片滚轮污染、

Qime超时/刻蚀待机时间长假片空跑不足影响、刻蚀油污/刻蚀烘干不足、玛雅

TMA波动、电注入铝板划伤等。现在我们来一一分析以上影响因素及改善措施。

块