基本信息
文件名称：镀金厚GEM的研发和性能测试课件.pptx
文件大小：4.49 MB
总页数：15 页
更新时间：2025-06-28
总字数：约2.13千字
文档摘要
镀金THGEM的研发和性能测试
内容引言镀金THGEM的制作性能测试小结2
3/32自腐蚀厚GEM（绿油）工业腐蚀镀铜工业腐蚀镀金类别镀层Gain单层Gain双层能量分辨线性区增益稳定性成品率能否用Ar+CO2CERNTHGEM铜1*10^41*10^520%~100V年很高√金30005*10^420%~100V年很高√国产军工薄形THGEM铜50005*10^420%~150V~月较高√金70008*10^425%~150V~月较高√国产工业TH-GEM无环自腐蚀铜50002*10^525%~100V~天50%基本不行绿油3000待测25%~100V~天～50%基本不行工业有环铜