基本信息

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文档摘要

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基于随机有限元法剖析大规模集成电路工艺参数影响

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，大规模集成电路作为现代电子系统的核心组成部分，广泛应用于计算机、通信、消费电子、汽车电子等众多领域，对推动社会发展和科技进步发挥着至关重要的作用。随着集成电路技术的飞速发展，芯片的集成度不断提高，特征尺寸持续缩小，这使得芯片的性能和功能得到了极大提升，但同时也带来了一系列挑战。

在大规模集成电路的制造过程中，工艺参数的波动难以避免，这些波动会对集成电路的性能、可靠性和成品率产生显著影响。工艺参数的波动可能源于多个方面，例如原材料的特性差异、制造设备的精度限制、生产环境的变化等。这些因素导致工艺参