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文档摘要

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微电子传感器工艺流程考核试卷

考生姓名：答题日期：得分：判卷人：

本次考核旨在评估考生对微电子传感器工艺流程的掌握程度，包括材料、设备、工艺步骤及质量控制等方面，以检验考生在实际应用中的专业能力。

一、单项选择题（本题共30小题，每小题0.5分，共15分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.微电子传感器中常用的半导体材料是：（）

A.硅

B.锗

C.钙钛矿

D.钛酸锂

2.下列哪种设备不属于微电子传感器制造中的关键设备？（）

A.光刻机

B.刻蚀机

C.离子注入机

D.水泥搅拌机

3.微电子传