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基于表面声波技术的流量传感器设计

摘要

在当今科学技术飞速发展的时代下，流量传感器已经遍布于军事、航天航空、医学、家用电器等众多领域内。声表面波流量传感器具有高响应性，能够跟随微小信号进行输出，且性能可靠，占用面积少，节约能耗，通用性强，这使得其成为传感器研究领域的热门。

声表面波流量传感器通过声表面波器件的输出频率会随着流体流速的变化而变化的原理来测量流体流量的。文章在第二、三章对压电效应以及声表面波传播理论，叉指换能器，铌酸锂压电材料属性展开探究实验。选用YZ切割的铌酸锂作为传感器压电材料，在传感器的灵敏度研究中，对通过改进传感器结构提高它灵敏度的方法进行了总