基本信息
文件名称：半导体洁净室静电防控.pptx
文件大小：7.62 MB
总页数：60 页
更新时间：2025-06-30
总字数：约1.06千字
文档摘要
半导体洁净室静电防控;静电防控概述与行业背景
静电产生机理与潜在风险
国际静电防控标准体系
洁净室静电防护体系构建
防静电材料选用与管理
设备静电防护设计规范
环境参数动态监控;人员操作规范管理
静电检测与诊断技术
应急处理与持续改进
典型案例分析库
人员培训认证体系
成本控制与效益分析
前沿技术与发展趋势;静电防控概述与行业背景;;洁净室静电敏感性分级标准;行业典型案例损失分析;静电产生机理与潜在风险;半导体工艺静电物理机制（摩擦/感应/分离）;;静电放电（ESD）引发缺陷类型;国际静电防控标准体系;ANSI/ESDS20.20核心要求解析;;半导体行业特殊补充规范;洁净室静电防护体系构建