微束分析扫描电子显微术术语
Microbeamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—
Vocabulary
(ISO22493:2014,IDT)
编写说明
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
2025年4月
修订计划编号T-469
一、工作简况
1.1任务来源
2025年3月14日，收到微束分析标委会（微标发函〔2025〕1
号文件）关于《国家标准化管理委员会关于下达2025年第二批推荐
性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》(国标委发【2025】7
号)及2025年度全国微束分析标准化技术委员会国家标准制修订工
作安排的文件通知，下达了由中国科学院上海硅酸盐研究所承担《微
束分析扫描电子显微术术语》(计划编号:T-469)的修订
任务，项目周期为16个月。
1.2标准修订单位及主要起草人工作情况
标准修订工作由中国科学院上海硅酸盐研究所承担，标准修订负
责人为曾毅研究员，负责标准修订审核、修改工作。李香庭研究员主
要负责标准文件翻译、起草审查修订稿及意见处理、起草编写说明。
1.3标准编制过程
“微束分析扫描电子显微术术语”标准修订前是等同采标ISO
22493:2008标准，2014年国际标准发布修订版（现行），修订版对部
分术语定义和文字进行了删减和修改。现在国标委对国际标准采标有
很多新要求，例如前言的写法，助动词的翻译等要求更严格和规范
（GB/T1.2—2020的表A.1~表A.4给出了ISO/IEC标准化文件
条款中助动词的翻译），原采标的国家标准中有些文字和内容明显不
符合新采标要求，必须根据新采标要求重新修订。2024年2月根据国标
委要求对ISO22493:2008标准进行了复审，申报了复审结论并建议对
GB/T23414-2009（微束分析扫描电子显微术术语）标准进行修
订，并向标委会提交了标准修订任务书及标准修订征求意见稿，希望
向国标委申请修订立项任务。2025年3月14日国标委发【2025】7号
文件正式下达《微束分析扫描电子显微术术语》(计划编号:T-469)的修订任务。
二、标准编制原则、主要内容及依据
本文件按照GB/T1.1－2020《标准化工作导则第1部分：标准化
文件的结构和起草规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：
以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》给出的规定起
草。
扫描电子显微镜（SEM）是微束分析技术中一个应用极为广泛的
显微分析仪器，已经在高校、研究院所及相关工厂得到了广泛应用。
现在国内正常使用的扫描电镜已远超过5000台。是在高技术产业、基
础工业、农业、材料、冶金、地质、生物、医药卫生、乃至刑事法庭
等行业进行科学研究、质量管理和质量检验所不可缺少的技术手段，
但在扫描电镜的使用和在不同领域的实际应用过程中，缺少规范的术
语定义，术语的使用和定义也比较混乱，许多术语没有正确的命名和
定义，对技术交流和实际应用带来麻烦。该标准的发布，将规范扫描
电镜显微分析的仪器使用、图像诠释及处理、技术交流、文章发表等
方面的术语，避免了信息交流过程中的许多歧义和误解。
本文件可适用于所有有关扫描电镜（SEM）实践的标准化文件。
部分术语也适用于相关领域〔例如：电子探针显微分析（EPMA）、
分析电子显微术（AEM）、能谱法（EDX）等〕。
本文件使用翻译法等同采用ISO22493：2014《微束分析扫描
电子显微术术语》（英文版）第二版（现行）。与GB/T23414-2009
相比，增加了第2章规范性引用文件，除结构调整和编辑性改动外，
主要技术变化如下：
a）增加和修改了部分术语定义（见4.1.2.1、4.5.5、5.2.3、6.2.4、
6.2.5、6.3.9.1、6.3.11、8.3.2、8.4）；
b）删除了2条术语和定义（见2009版的