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文件名称:微束分析 分析电子显微术 用于电子能量损失谱元素分析的能量标尺校准程序 编制说明.pdf
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总页数:4 页
更新时间:2025-07-02
总字数:约3.73千字
文档摘要

《微束分析分析电子显微术用于电子能量损失谱元

素分析的能量标尺校准程序》编制说明(XX稿)

一、工作简况(包括任务来源、制定背景、起草过程等)

1.1任务来源

2024年6月28日,国家标准化管理委员会文件国标委发[2024]28号“《国

家标准化管理委员会关于下达2024年第四批推荐性国家标准计划及相关标准

外文版计划的通知》”下达了《微束分析分析电子显微术用于电子能量损失谱

元素分析的能量标尺校准程序》的采标任务,计划编号为T-469,由

中国科学院化学研究所和北京化工大学联合制定。标准编制周期为16个月。

1.2制定背景及起草人分工情况

计划下达后,北京化工大学与中国科学院化学研究所共同成立了标准编制工

作组,展开起草工作。本标准起草工作组主要成员:洪崧、王岩华。

具体分工如下:

洪崧:负责翻译原文、编写征求意见稿、送审稿的讨论和修改,报批稿的定

稿;

王岩华:负责编写编制说明、征求意见稿、送审稿的讨论和修改,报批稿的

定稿,征求意见和审查意见汇总表的整理等。

1.3主要工作过程

1.3.1起草阶段

通过计划审查后,中国科学院化学研究所与北京化工大学共同成立标准编制

工作组,展开起草工作。工作组在仔细研读ISO24639:2022Microbeamanalysis

—Analyticalelectronmicroscopy—Calibrationprocedureofenergyscalefor

elementalanalysisbyelectronenergylossspectroscopy原文的基础上,完成了全文

翻译稿,因存在技术差异,确定对ISO24639:2022进行修改采用。2023年12月

任务计划下达后,工作组对草案进行了修改,于2025年5月完成标准征求意见

稿初稿。

1.3.2开展阶段

2

1.3.3征求意见阶段

自2025年6月起,秘书处在国标委网站和TC38微信公众号对本项目公开

征集意见,并将征求意见稿发送给全体委员和相关单位。

1.3.4试验验证阶段

1.3.5审查阶段

1.3.6报批阶段

二、国家标准编制原则、主要内容及其确定依据,修订国家标准时,还包括修订

前后技术内容的对比

2.1标准制订的原则

该标准按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准的结构和编写》

和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分:以ISO/IEC标准化文件为基

础的标准化文件起草规则》的规定起草。

电子能量损失谱仪(EELS)是常配置于中高端电子显微镜中的一种分析型附

件,通过电子能量损失分析,可以了解材料的化学成分、原子成键和电子结构等

信息,目前广泛使用在国内高校、科研院所和高科技企业,对于新材料、绿色化

工、芯片制造技术等重点领域的研究和开发起到越来越重要的作用。通过EELS

谱仪分析非弹性散射电子的能量损失,可依据芯损失边在谱图中的位置和形状与

标准谱图比较,识别和分析由氢至铀的所有元素。为确保分析准确有效,需要在

0eV至3000eV能量范围内将谱仪校准至±3%的不确定度。然而,其校准方

法国内至今尚未建立标准。ISO于2022年发布了第一个EELS校准标准(ISO

24639:2022),及时将该标准转化为国家标准,将有力促进和规范EELS技术在

我国的发展和应用。

2.2标准制定的主要内容(如技术指标、参数、公式、性能要求、试验方法、检

验规则等)及其确定依据(包括试验、统计数据)

本文件规定了在透射电子显微镜或扫描透射电子显微镜中电子能量损失谱

的能量步长和能量标尺的校准程序,对于0eV至3000eV的能量范围,校准的

3

不确定度为±3%。主要技术内容包括:术语和定义;能量步长和能量标尺的校

准程序;测试、校准报告内容。两个资料性附录分别给出磁棱