化学品管路施工方案
前言
由于化学品种类纷繁简单，涉及行业也较多，本文着重表达晶圆厂及TFT厂房的工艺用化学品的施工方案。
一．化学品管路种类及相应的材料选型要求
晶圆厂化学品种类
化学品种类〔溶剂类〕：
C260、EKC-270、NMP、OK-73、A-515、IPA,除EKC-270使用PFA/304BA
管，其余均使用316LEP管，接收方式协作VMB出口及机台入口端形式接收。
化学品种类〔酸、碱类〕：
HF1%、HF49%、H2O2、NH4OH29%、DEVELOPER、M1、BOE200:1、BOE500:1、BOE50:1、HNO3、HCL、H3PO4、H2SO4使用PFA/CLEAR-PVC双层管直
接弯管，接收方式协作VMB出口及机台入口端内管，直接扩管，外管使用40AC-PVCSOCKET固定。
TFT-LCD厂房化学品分类A.Array厂房
EBR稀释剂，PS-2双氧水，TMAH20%显影液，STRIPPER剥离液，ITO-Etchant刻蚀液，AL-Etchant刻蚀液，HNO3，KP5，K255等。
B.Cell及CF，PE厂房
N321清洗液，NMP,IPA,EBR稀释剂，DEV0.025%，ITO-REWORK，HF酸，
HNO3硝酸，中和剂等。
C.TFT-LCD厂房化学品供给管路的材料选型a.SUS316LEP管
成品电解抛光EP级不锈钢管及管件，常用品牌：KUZE、Dockweiler、Valex、Asflow等
b.CLEAN-PVC管
干净PVC管路及管件，常用品牌：ASAHI旭金,SEKISUI积水c.CPVC(外管)+PFA〔内管〕
透亮CPVC管，常用品牌：环琪、协羽
高纯PFA管〔451或951系列〕，常用品牌：Entegris、Pillar、NICHIAS、Swagelok等。
二．化学品管路施工方案〔3种方案A,B,C〕
SUS316LBA/EP管承受氩气保护自动焊接
管路架设
预制工作环境
作现场需配有一临时性干净棚(CleanBooth)，且全部配管工作的操作根本上在此区域内完成，以避开一些不当的污染。此干净棚必需维持且掌握在以下的环境条件：
临时性干净棚：
微尘数量〔静态数，粒子小于0.3um〕1um=0.001mm：(人的一般毛发为100um)
库房:〔用于储存材料及预制好的阀盘、管件等〕
其干净度为Class10000。在Class10000CleanBooth内测得的微粒数量〔0.1um以上的微粒〕不能超过10000PCS/c.f
切割工作区域:Class1000用于切割管材，组装阀盘等。焊接工作区域:Class100用于焊接、预制管件。
维持干净之条件：
于焊接工作区域内，其温度为21°C，相对湿度为65%。
气流：
每小时循环5-10次
环境：
此环境棚内保持正压30Pa,足以阻绝微粒、油污及其他外来的物质。
在此区域内工作，必需身着无尘衣、鞋及PVC手套。
当微粒数量超标时，应削减干净室内工作人数，或更换MEPA过滤器再做一次测试，直到到达标准后再开头工作。
预制工作〔在简易干净室cleanbooth〕1-2-1．假镕
1自动镕解时，假设配管直径大于20A应依据需要实行假镕。
2假镕的场合也需要由有资格者实行、施工前确定BACKSHIELD气体是否符合流量及纯度的规定。
3假镕时，确认两配管切面处理符合规定、配管的中心全都。
4假镕时镕接部的入量应小于配管厚度的1/3。
5假镕间隔依据配管大小而定、但一般于等间隔四处实行。
6假镕后须清洁外表酸化膜、确定镕点与配管外表平坦。
7使用自动镕接机假镕时，须与真正镕接时同样条件下做成样品，确定无任何问题。
假镕位置一般为4点或6点
1-2-2．冲吹气体〔Backsealgas〕
使用氩气，露点-80°C或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒〔0.1um以上〕含量为零。
1-2-3.冲吹用管套Backseajig
连接冲吹气体管路与架设管路，使用〔Backsealjig〕
(Backseagas)
1-2-4.架设程序
将工作管路两端套上管套，连接冲吹气体及阀1-2-5.装封
完成焊接之后，在管内布满Ar气，而且用无尘的塑胶纸在末端包裹两层。假设末端的阀已经连接好了，把阀也用塑胶纸裹起来。
1-2-6.储存及搬运
材料必需置于特定的贮存间，在工地现场或在材料间要供给临时性的简易干净室，全部材料要存放整齐。在存放材料时，有电子抛光的管件必需和未经电子抛光的管件分开。在尚未使用管件之前都不要将塑胶封套翻开直到现场要使用