结合六西格玛项目的质量改进(I阶段)设计案例
目录
结合六西格理项目的质量改进(I阶段)设计案例1
1.1DOE分析计戈I」1
1.2全因子DOE实设计1
1.3DOE分析3
1.4DOED向应优化4
根据项目分析阶段的分析，最终得到了四个引起最终不良的关键输入变量,
那么质量改进I阶段的主要目标是通过改进输入变量提高关键质量特性Y,找出
总体最优的改进方案。
1.1DOE分析计划
实设计(DOE)是处理多个因子与响应变量之间关系的方法，该方法可以
同时研究多个输入变量X,确定它们对关键质量特性Y的影响，也可以通过同
时操纵多个输入，确定输入变量X之间的交互作用。DOE实设计通过分析试
数据，建立响应与因子之间的函数关系Y=F(Xi，X2，???,XQ+e,其中乂保…劣
为可控因子，e为由非可控因子所造成的试误差。
根据分析阶段，得出*显著因子为水洗室流量/压力、HM-S水汽比例、毛刷
使用寿命以及A/K流量。此外，y2异物断线中的Clmp寿命虽然为非显著，却
是影响PVD过程的重要可控因子，同样，y3爬坡断线中的基板预处理也影响基
板成膜后的膜质，因此，将Clmp寿命和基板预处理同步加入DOE分析，DOE
分析计划如表1.13所示。
表1.13DOE分析计划
流程目标(y)X因子LevelLow/High
yiX1-1：水洗室流量270/83L/min
液残断线Xl-3:HM-S水汽比例243/53
y2X2-1:毛刷使用寿命210/30天
异物断线X2-3:Clmp寿命2900/1100KWH
y3X3-1:基板预处理24h/24h
爬坡断线X3-3:AK流量22800/3000L/min
1.2全因子DOE实设计
为综合考虑各因素对质量特性的影响，本节采用全因子实设计，即对所有
因子的所有排列组合都进行试，优点便是方法思路简单明了，能够很清晰的看
到主效应以及各个效应之间的交互作用。在多数的初期研究中，每一因子采用两
水平，我们将k个因子的两水平的全因子试称为2KO
在此次实设计中，根据批量生产水平和设备规格范围，并结合对生产成本
的评估，在实际生产的基础上选择因子水平。判定方式为yl通过对水洗室流量
和HM-S水汽比例的调整，y2通过对部材使用寿命的调整，y3通过对成膜基板
预处理的管控及AK流量的调整，再由SL点灯S断线发生pnel数整理对应测
试数据，如表1.14-1.16所示，其中相关设计因子如下：
因子：2基本设计：2,4
试次数：8仿行：2
区组：1中心点（合计）：0
表1.14yl模块DOE2K全因子设计及实结果
标准序运行序中心点区组水洗室流量HM-S水汽比例实结果S断Pnel数
51117043511
12117