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(新)半导体制造技术考试题库

一、选择题

1.以下哪种光刻技术的分辨率最高？（）

A.紫外光刻

B.深紫外光刻

C.极紫外光刻

D.电子束光刻

答案：D

解析：电子束光刻可以实现非常高的分辨率，因为电子束的波长极短。紫外光刻、深紫外光刻和极紫外光刻虽然也在不断发展提高分辨率，但相比之下，电子束光刻能达到的分辨率最高。紫外光刻分辨率一般在微米级别；深紫外光刻可达到几十纳米；极紫外光刻能达到十几纳米；而电子束光刻可以达到纳米甚至亚纳米级别。

2.在化学气相沉积（CVD）过程中，以下哪种气体通常作为载气使用？（）

A.氢气

B.氧气

C.氮气

D.氯气

答案：C

解析：氮