基于LabVIEW的动态配气系统设计与实现：理论、技术与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1动态配气系统的重要性

在当今科技和工业快速发展的时代，动态配气系统作为一种能够精确控制多种气体混合比例并持续输出的关键设备，在众多领域发挥着不可或缺的作用。

在工业生产中，动态配气系统的应用极为广泛。在电子芯片制造过程里，高纯度且比例精准的气体对于芯片的性能和质量有着决定性的影响。例如，在半导体光刻工艺中，需要将特定比例的光刻气体（如含有氟、氯等元素的气体）与载气混合，以确保光刻的精度和分辨率，从而制造出性能卓越的芯片。在化工合成领域，像合成氨工业，精确控制氢气和氮气的混合比例是实现高