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文件名称:未来2025年半导体设备研发技术路线选择指南:产业发展趋势解读.docx
文件大小:32.87 KB
总页数:19 页
更新时间:2025-07-07
总字数:约1.11万字
文档摘要
未来2025年半导体设备研发技术路线选择指南:产业发展趋势解读
一、未来2025年半导体设备研发技术路线选择指南:产业发展趋势解读
1.1半导体设备研发技术的重要性
1.1.1提高我国半导体产业的自主创新能力
1.1.2降低生产成本,提升市场竞争力
1.1.3推动产业链的完善
1.2未来2025年半导体设备研发技术路线选择
1.2.1技术创新
1.2.2产业链协同
1.2.3人才培养
1.2.4政策支持
1.2.5国际合作
二、半导体设备研发技术发展趋势
2.1高精度制造技术
2.1.1光刻机技术
2.1.2刻蚀机技术
2.1.3沉积技术
2.2能耗与环保技术
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