基本信息

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文档摘要

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半导体技术规程

一、设备管理

1.设备维护与保养：定期对生产设备进行维护和保养，确保设

备正常运行，提高设备的使用寿命。

2.设备校准与验证：定期对设备进行校准和性能验证，确保设

备的准确性和可靠性。

3.设备操作规程：制定设备操作规程，规范操作流程，防止误

操作导致设备故障或生产事故。

二、物料管理

1.物料验收：对采购的原材料、辅料进行验收，确保质量合格。

2.物料存储：建立合理的物料存储管理制度，防止物料受潮、

霉变等现象