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文件名称：多孔硅基功能薄膜：制备、特性与多元应用的深度探究.docx
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总页数：36 页
更新时间：2025-07-09
总字数：约4.8万字
文档摘要
多孔硅基功能薄膜：制备、特性与多元应用的深度探究
一、引言
1.1研究背景与意义
在材料科学领域，新型功能材料的探索与研究始终是推动科技进步的核心驱动力之一。多孔硅基功能薄膜作为一类具有独特物理化学性质的材料，近年来在学术界和工业界均引发了广泛关注。多孔硅，自1956年被美国贝尔实验室的Uhlir首次发现，通过电化学阳极腐蚀或化学腐蚀单晶硅可形成具有纳米硅原子簇为骨架的“量子海绵”状微结构。这种结构赋予了多孔硅许多优异特性，如高比表面积、高度孔隙度以及较强的化学稳定性等，使其在众多领域展现出巨大的应用潜力。
从应用角度来看，多孔硅基功能薄膜的研究对多个领域的发展起到了重要的推动